適用于半導(dǎo)體檢測的AVT相機
科技不斷進步，半導(dǎo)體檢測系統(tǒng)相關(guān)的要求也隨之水漲船高。深入納米級的日益小型化結(jié)構(gòu)以及對更高產(chǎn)量和質(zhì)量的需求，進而導(dǎo)致我們在分辨率、幀率和新檢測方法方面衍生了更多的要求。
適用于半導(dǎo)體檢測的相機
創(chuàng)新晶圓檢測系統(tǒng)能夠在整個制造流程檢測裸片晶圓、外延晶圓、圖案晶圓和切割晶圓的表面、材料和工藝缺陷。
選擇半導(dǎo)體檢測相機時，需要考慮以下相關(guān)因素：
高空間分辨率成像，確?？蓹z測出極其細微的缺陷，確保晶圓層超高準確度水平對齊
支持不同類型傳感器（分辨率和像素大小方面）、傳感器冷卻選項以及相機接口，打造靈活、可擴展的解決方案
高幀率運行的高水平傳感器，提高生產(chǎn)吞吐量
主動冷卻傳感器(TEC)，確?？芍噩F(xiàn)的成像結(jié)果
即插即用體驗，通過多功能SDK和驅(qū)動程序搭建圖像處理系統(tǒng)
這類系統(tǒng)采用自動光學(xué)檢測 (AOI)方法，包括對MEMS、高級封裝、RDL、凸塊等進行高準確性和可重復(fù)性2D和3D測量，確保并維持一定的產(chǎn)量。
半導(dǎo)體晶圓制造流程通常需要500多個步驟。因此，越早檢測到流程存在的缺陷，越能減少后續(xù)步驟浪費的人工和資金成本。
短波紅外在半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域大放異彩
搭載InGaAs傳感器的短波紅外相機通常在900 nm至1,700 nm的短波紅外光譜范圍內(nèi)運行，并可透過半導(dǎo)體材料（例如硅(Si)）實現(xiàn)大約1,150 nm波長的光譜成像。因此，短波紅外相機成為了檢驗過程必不可少的設(shè)備。硅片透光成像是一種非破壞性檢測方法，為生產(chǎn)流程提供了諸多益處?，F(xiàn)如今，半導(dǎo)體行業(yè)紛紛將短波紅外相機引入測試、檢驗和質(zhì)量控制系統(tǒng)。
Allied Vision 提供市面上品類超齊全的短波紅外相機產(chǎn)品線。從配有熱電冷卻(TEC)功能的高端解決方案，到用于開發(fā) SWaP+C OEM 系統(tǒng)的無TEC裸板相機模塊，一應(yīng)俱全。
3種分辨率（QVGA、VGA或SXGA）和5種接口（GigE、5GigE、USB3、CSI-2或Camera Link）供選，方便您根據(jù)自身需求設(shè)計半導(dǎo)體檢測系統(tǒng)。
SWIR相機產(chǎn)品線
Allied Vision 種類豐富的短波紅外型號（Goldeye和Alvium SWIR），可根據(jù)客戶需求定制各種解決方案，融合不同附加功能或特殊部件。
作為AVT相機的代理商，我們不僅為您提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品，更致力于為您打造完善的服務(wù)體系。我們擁有專業(yè)的技術(shù)團隊，能夠根據(jù)您的實際生產(chǎn)需求，提供個性化的視覺檢測解決方案，從相機選型、系統(tǒng)集成到安裝調(diào)試、人員培訓(xùn)，全程為您保駕護航。同時，我們建立了快速響應(yīng)的售后服務(wù)機制，確保在設(shè)備出現(xiàn)問題時，第一時間為您解決，最大限度減少對生產(chǎn)的影響。
